DAS展出针对可持续高科技生产的关键技术
摘要: 全球最大的半导体旗舰展览SEMICON China于昨日在中国上海隆重拉开帷幕。尽管大部分观众对最新的芯片设计、LED和纯平开发技术充满好奇,DAS集团却将焦点聚集在芯片制造工厂安全、员工保护及环境上。
DAS Environmental Expert公司是一家领先的致力于向高科技行业提供废气处理可持续性解决方案的环保科技企业。DAS的系统主要用于处理可压缩、可燃、腐蚀性、活性、有毒及/或自燃的气体和粉尘。在该领域的持续性技术开发对安全生产、环境清洁和经营成本最优化具有至关重要的作用。
“自2001年在中国开展业务以来,我们已为中国的半导体行业和太阳能光伏行业安装了数以百计的工具。我们拥有一批知名客户,他们十分重视DAS的合作开发理念。”戴思(DAS)环保设备贸易(上海)有限公司经理吴彬说道。“去年与天威的合作项目就是成功典范之一。对于本周四上午将在中国国际光伏技术大会 (CPTIC) 上展出的成果,我感到无比自豪。”
国际半导体设备与材料协会 (SEMI) 全球标准与环境健康安全高级总监James Amano表示,“中国的电子产品制造仍有进一步完善的可能性,下一代产品将变得更加无可挑剔。SEMI代表的各行业、企业和人才是电子产品革命的创造者。为了使这场革命生生不息地持续下去,我们非常需要像DAS这样的企业帮助创造一个更安全、更清洁和更高效的生产环境。”
在SEMICON China期间,STYRAX成为了各大公司的主要话题。STYRAX是一种烧湿气处理系统,专为化学气相沉积 (CVD) 等高要求的工艺流程而设计。这款新开发的工具在去年刚刚推出,目前已获得广大客户的一致好评,其优势包括:全氟化碳 (PFC) 消除能力提高,氮氧化物 (NOx) 排放量降低,维护周期缩短。
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