MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)微电子机械系统，出现于19世纪，从上世纪60年代起经过美国科技人员的不断开发改进，并于1989年首先提出了“微电子技术应用于电机系统”的概念。由此，MEMS成为微机械等领域的学术用语，MEMS技术也成为热门研究课题。MEMS随着半导体集成电路微细加工技术和超精密机械加工技术的发展而发展，MEMS是感知、计算和执行的融合，它把电子技术与机械特性有机地结合了起来，可同时实现物理、化学、生物等方面的功能，现已渗透到电子、机械、物理、化学、医学、生物等各个领域，变成世界瞩目的重大科技领域之一，并具有广阔的前景。MEMS传感器是采用微电子和微机械加工技术制造的传感器，与传统传感器相比，具有体积小、重量轻、成本低、功耗少、可靠性高、适于批量生产、易于集成和实现智能化等特点。

传感器已属于WSTS的统计项目之一，2012年销售值80亿美元，占整个半导体市场的2.7%，2013年增长4.5%，达84亿美元，占2.8%，明年进一步上扬7.1%，达90亿美元，占2.9%，2015年续增5.5%，达95亿美元，占2.9%，保持着年年成长的趋势。另外，Fairchild Semiconductor公司MEMS与传感器解决方案副总裁Janusz Bryzek从出货量方面进行了预测，他说未来世界MEMS传感器的应用有可能达到万亿片的规模，展望2023年， MEMS芯片出货量估计可达1630亿片，半导体芯片则为1.95万亿片，MEMS芯片出货量占半导体量的比重将从2010年的3%提高到2023年的8%。从今往后两者出货量的发展速度会愈来愈快，MEMS的增速将从每年13%，提高到38%，半导体则将从9%提升到27%，前者的成长速度更胜于后者。

人机介面的历史从键盘、鼠标，到目前流行的MEMS传感器和控制器，触控、手势、语音、影像识别等正日渐普及，MEMS传感器的应用不断扩大。以日本为例，在半导体趋于式微的今天，半导体厂商转而寄希望于传感器，积极推进MEMS传感器事业。今年6月日本政府拟定的“日本再兴战略(Japan Is Back)”中便列有基础设施检查诊断项目。在桥梁、道路、大楼等基础设施中设置各类传感器，以收集的有关数据为基础，企望发挥检查诊断的作用。这方面使用的传感器市场规模将从今天的5000亿日元增长到2030年的10万亿日元。衰落的家电王国日本今后传感器的应用将向着医疗和机器人迈进，随着高龄化的进展和抑制高昂的医疗费用，国家将推行家庭医疗政策，广泛采用小型医疗器具，增加传感和监视功能，利用可穿戴设备经常监视老年人的血压和心跳，防病于未然。

先前的日本福岛第一核电厂事故中首先采用了机器人，此外，护理工作和生产自动化都将积极采用智能机器人，基础设施非破坏性检查诊断也需用机器人，故而日本机器人市场将从今天的50亿日元成长到2030年的2万亿日元。还有汽车业也是日本的得意行业，凡此，都是广泛采用传感器的领域，因而JEITA(日本电子信息技术产业协会)预测，日本2020年传感器市场将达5.87万亿日元。

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