飞思卡尔实现MEMS三轴加速度传感器小型化
2007-03-30 09:52:04
来源：半导体器件应用网
飞思卡尔半导体（Feescale Semiconductor）发表了比该公司原产品的体积缩小71％的三轴加速度传感器“MMA7360L”。外形尺寸为3mm×5mm×1mm。该公司的加速度传感器由利用MEMS技术加工的静电容量型传感器元件和2枚ASIC芯片构成。此次的产品通过将原来层叠的2枚芯片横向并列配置，减小了高度。灵敏度为与原产品相同，均为800mV/G。另外，各芯片均凭借细微化的工艺技术缩小了面积，从而使封装面积也得以缩小。
另一个特点是：从待机状态恢复的时间短，仅0.5ms。从完全断电状态到启动的时间为1ms。插入设备使用时，可随时将传感器设置为待机状态或断电状态，从而有助于减小设备的耗电量。
新产品主要面向游戏机和便携设备等的倾斜和移动检测，以及硬盘下落检测。灵敏度范围有±1.5G和±6G两种可供用户设定。选择±6G时，灵敏度为200mV/G。输出方式为模拟输出。耗电量方面，灵敏度在±1.5G时为400μA，待机时为3μA。电源电压为2.2～3.6V。封装采用14针LGA。此外还备有灵敏度范围为3G或12G的“MMA7340L”以及灵敏度范围为4G或16G的“MMA7330L”。预定2007年第2季度开始量产供货。1万个批量购买时的单价方面，MMA7360L为3.66美元、MMA7340L为3.59美元、MMA7330L为3.53美元。面向民用设备的大量订货时预定单价在2美元以下。
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