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基于高温的微型压力传感器设计方案
压力传感器是使用最为广泛的一种传感器。传统的压力传感器以机械结构型的器件为主，以
弹性元件
的形变指示压力，但这种结构尺寸大、质量轻，不能提供电学输出。
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