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业界普遍认为，氧化镓有望替代碳化硅和氮化镓，成为第四代半导体材料代表。
田村制作所及其子公司光波公司开发出了使用氧化镓(β-Ga2O3)的白色LED，并在“日本第3届LED及有机EL照明展”(2013年1月16～18日于东京有明国际会展中心举行)上展出。
田村制作所与光波公司此次开发了可大幅削减设于氧化镓基板和GaN类外延层之间的缓冲层电阻技术，并且通过确立在氧化镓基板上形成低电阻n型欧姆接触电极的技术，实现了可流过大电流的LED元件。
