MEMS元器件，即微电子机械系统元器件，是一种利用传统的半导体工艺和材料，集微传感器、微执行器、微机械机构、信号处理和控制电路、高性能电子集成器件、接口、通信和电源等于一体的微型器件或系统。 MEMS元器件具有小体积、低成本、集成化等特点，因此在消费电子、智能驾驶、智能工厂、智慧物流、智能家居、环境监测、智慧医疗等物联网领域得到广泛应用。例如，在智能家居领域，MEMS传感器可以用于实现运动和心率监测，在智能驾驶领域，MEMS传感器可以用于实现精确测定头部转动的速度、角度和距离等。
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