MEMS半导体传感器是一种基于微机电系统（MEMS）技术的半导体传感器。其工作原理主要是通过半导体加工技术在硅晶圆上制造出的MEMS芯片，在ASIC芯片的驱动控制下感应外部待测信号并将其转化为电容、电阻、电荷等信号变化，然后ASIC芯片再将上述信号变化转化成电学信号，最终通过封装将芯片保护起来并将信号输出，从而实现外部信息获取与交互的功能。 MEMS半导体传感器在多个领域都有广泛的应用，包括但不限于AR/VR、消费电子、智能驾驶、智能工厂、智慧物流、智能家居、环境监测、智慧医疗等物联网领域。
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