MEMS惯性传感器是一种基于微机电系统（MEMS）技术的惯性传感器，主要由三个轴加速度传感器及三个轴的陀螺仪组成。这种传感器是利用惯性进行测量的器件，其工作原理基于经典力学中的牛顿定律。它能够测量运动物体（如车辆、飞机、导弹、舰艇、人造卫星等）的质心运动和姿态运动，进而对运动物体实现控制和导航。 在实际应用中，加速度计和陀螺仪是最常见的两类MEMS惯性传感器。加速度计用于测量加速度或平移运动，而陀螺仪则用于测量角速度或角旋转速度。这些传感器将物理运动转换成电信号，然后通过电子电路进行放大和处理。
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