MEMS 传感器单芯片是一种将微机电系统（MEMS）技术与集成电路技术相结合，在单一芯片上集成了传感器的机械结构、敏感元件以及信号处理电路等多种功能部件的微型化芯片，特点 微型化与集成化：MEMS 传感器单芯片通过微纳加工技术，将机械结构和电子元件集成在微小的芯片上，极大地缩小了传感器的体积，使其能够满足现代电子设备对小型化、轻薄化的要求。例如，在智能手机中，MEMS 麦克风单芯片的尺寸通常只有几毫米甚至更小，却能够实现高质量的声音拾取功能. 高精度与高灵敏度：由于采用了微纳尺度的制造工艺，MEMS 传
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