MEMS 技术设计是指利用微电子、微机械和微光学等多种技术，在微小的尺度上设计和制造机械结构和电子器件，以实现特定的功能。 在 MEMS 技术设计中，通常需要考虑以下几个方面： 器件结构设计：确定器件的机械结构，包括尺寸、形状、材料等。 材料选择：选择适合器件的材料，包括硅、玻璃、塑料等。 加工工艺：选择适合器件的加工工艺，包括光刻、蚀刻、键合等。 电子器件设计：确定器件的电子器件，包括传感器、执行器、微流控器件等。 封装技术：选择适合器件的封装技术，包括晶圆级封装、芯片级封装等。 测试技术：
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