MEMS 晶振即微机电系统(Micro-Electro-Mechanical System)晶振,是一种基于 MEMS 技术制造的新型振荡器。以下是关于 MEMS 晶振的一些详细信息:工作原理: MEMS 晶振利用微机电系统中的微小结构(如微机械谐振器)的机械振动来产生稳定的频率信号。当对这些微小结构施加电信号时,它们会以特定的谐振频率振动,从而产生振荡信号。 通常,MEMS 晶振还会包含一些附加的电路,如放大器、锁相环(PLL)等,用于对谐振频率进行放大、稳定和调整,以确保输出的频率信号具有高精度和稳
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