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2010年底前，设置的MOCVD装置有300台，而截止到目前--2011年11月，已经设置了600台以上。但MOCVD装置的设置数量的增速今后预计将放缓。此前，MOCVD装置的设置因可以享受中国政府发放的购买补贴，因此，设置数量一直稳步扩大。然而，随着2011年上半年补贴制度的停止，设置数量似将难以过去的速度增加。
