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爱德万测试 (Advantest) 宣布已开发出全新光罩缺陷检验扫描式电子显微镜系统E5610，不仅可检测光罩基材中超细微缺陷，还能加以分类。

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全球测试设备厂爱德万测试 (Advantest) 宣佈推出专为晶圆所开发的全新多视角量测扫描式电子显微镜 (MVM-SEM) 系统E3310，这套系统可在各种晶圆上量测精细接脚间距图样，以Advantest的专利电子束扫描技术，实现高精确性。

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