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磁控溅射是近年来得到广泛应用的成膜方法,相比于目前电压敏行业中广泛采用的烧银电极,溅射膜电极具有膜层致密,厚度均匀,附着性强等优点。溅射膜电极不管从生产工艺上还是膜层质量上,都显现出传统的烧银电极不可比较的优越性,采用磁控溅射制备ZnO压敏电阻电极,将是今后陶瓷金属化的主流技术。