磁控溅射制备ZnO压敏电阻电极
2024-05-14 17:11:03
来源：半导体器件应用网
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ZnO压敏电阻的电极制备对欧姆接触、焊接性、可靠性等性能有重要的影响，是制造高性能压敏电阻必须解决的关键问题之一。溅射是近年来得到广泛应用的成膜方法，相比于目前电压敏行业中广泛采用的烧银电极，溅射膜电极不仅制备过程绿色环保，成本低廉，而且具有膜层致密，厚度均匀，附着性强等优点，溅射膜电极不管从生产工艺上还是膜层质量上，都显现出传统的烧银电极不可比较的优越性，毫无疑问，采用溅射膜电极是今后陶瓷金属化的主流技术。
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