搜索结果:找到 “关键字” 相关内容 1个, 当前显示 10 条,共 1 页
KLA-Tencor 推出用于测量等离子室效应的 pLASMAVOLT X2 KLA-Tencor 公司今天推出了 PlasmaVolt™ X2,可用于在半导体晶圆处理系统中测量等离子室的状况。由于增加了内嵌式传感器数量,且空间分辨率得到改善,PlasmaVolt X2 对各种参数的变化极为敏感,例如无线电频率 (RF) 功率、气流、磁场及等离子室设计。这种等离子行为测量和特征化系统能