软磁薄膜是一种具有软磁特性的薄膜材料，其厚度通常在纳米到微米级别。软磁材料是指在磁场作用下容易被磁化，当磁场去除后，磁性又能很快消失（即磁滞回线窄）的材料。软磁薄膜在电子、磁性存储、传感器等众多领域有着重要的应用。主要成分与材料类型 铁基软磁薄膜： 以铁（Fe）为主要成分，如铁 - 镍（Fe - Ni）合金薄膜、铁 - 钴（Fe - Co）合金薄膜等。Fe - Ni 合金（如坡莫合金）薄膜具有高磁导率、低 coercivity（矫顽力）和良好的高频特性，在高频电感、磁头材料等方面应用广泛。Fe - Co
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