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：“我们很高兴有机会与东京电子合作，扩大并深化氟的半导体应用范围，同时帮助客户通过减少环境影响、提高生产力并降低成本。多年来，东京电子在全球一系列生产基地的热LPCVD1炉都在使用林德现场制成的氟，以降低成本，提高安全系数和过程控制效果。”
