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:“我们很高兴有机会与东京电子合作,扩大并深化氟的半导体应用范围,同时帮助客户通过减少环境影响、提高生产力并降低成本。多年来,东京电子在全球一系列生产基地的热LPCVD1炉都在使用林德现场制成的氟,以降低成本,提高安全系数和过程控制效果。”