MEMS 压力感测器，全称为微机电系统压力感测器，是一种将压力信号转换为电信号的传感器，其主要部分是通过单晶硅硅片等传统半导体材料制作而成的芯片，融合了尖端微电子技术和精密微机械加工技术，利用微型机械结构与电子电路的结合来检测物理形变或电荷累积，进而测量压力并转化为电信号. 基本原理 : 压阻式：当压力作用于感测器的硅膜片时，膜片产生形变，使集成在膜片上的压阻元件的阻值发生变化。这些压阻元件通常构成惠斯通电桥，阻值变化导致电桥输出电压改变，从而将压力信号转换为电信号。例如，在汽车的进气压力传感器中，
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