Obducat发布新款纳米打印机,适用于大规模生产
2007-02-07 17:06:37
来源:半导体器件应用网
瑞典纳米压印光刻设备厂商Obducat AB近日发布了一款用于大规模量产的纳米压印光刻系统,该系统名为Sindre,据悉这一名称来源于北欧神话中的一个侏儒铁匠。
Obducat表示,该产品产能达到了每小时30片200mm晶圆,该系列下一型号的产品将具备每小时90片晶圆的生产能力。
该公司自称已占据纳米压印光刻市场40%的份额,此番推出的Sindre系统为相机、手机、平板显示器和下一代硬盘驱动器的相关芯片制造提供了制造级的解决方案。
Obducat公司的CEO Patrik Lundstrom还表示,Obducat的制造技术如今已惠及光电子领域的产品。
Obducat的解决方案基于两项关键技术:中间媒介聚合物压印(IPS)与同步组合紫外曝光和热处理(STU)技术。该公司没有进一步透露其他细节。
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