奈良先端大学发表利用蛋白质形成多晶硅结晶的新技术
2006-09-21 09:24:30
来源：半导体器件应用网
日本奈良先端大学在2006年9月14日～15日于东京国际论坛举办的“2006日本创新——大学商品展示会”上，就使用蛋白质的多晶硅生长技术进行了相关展示。该技术是用来生产半导体材料的，设想的用途是在塑料或玻璃底板上形成多晶硅层。与老方法相比，不仅可减少触媒即镍的用量，还可得到大粒径的硅结晶。该课题由奈良先端大学教授冬木 隆领导的研究室和松下电器产业联合研究。
利用非晶硅生成大粒径硅时，有一种用镍作为触媒的方法。此次介绍的技术则使用在外径约12nm、内径约7nm的蛋白质壳中包含镍的物质作为触媒。蛋白质壳称为铁蛋白质（ferritin ）。
通过将以镍为核心的铁蛋白吸附到非晶硅层上，使镍发生分散。然后再利用紫外线和臭氧去除蛋白质。与普通蒸镀和溅镀法相比，其特点是更容易使镍分散到非晶硅层上。结果，就能使硅结晶粒径达到几个至十μm。可利用镍-铁蛋白溶液浓度，改变镍在非晶硅层上的吸附密度，以调节硅结晶粒径。
与蒸镀和溅镀等方法相比，制作相同粒径的硅结晶时，能够将镍用量减少2～3位数。原有的蒸镀和溅镀法容易使镍单体凝聚到非晶硅层的部分位置，因此用量就会增大。另外，由于镍都是相连的，因此结晶粒径就会变小。
实用化目标目前尚未确定。课题之一就是铁蛋白价格昂贵。不过，量产以后，估计价格会不断下降。日本Kikkoman等公司也已经制定量产计划。
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