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早期的陀螺仪是一种机械装置，主要部分是一个对旋转轴以极高角速度旋转的转子，转子装在一支架内;在通过转子中心轴XX1上加一内环架，那么陀螺仪就可环绕平面两轴作自由运动;然后，在内环架外加上一外环架;这个陀螺仪有两个平衡环，可以环绕平面三轴作自由运动，就是一个完整的陀螺仪。
先进制造领域863课题“汽车电子稳定程序(ESP)微传感器及系统”针对汽车电子应用需求，对MEMS陀螺仪和加速度传感器的结构进行了优化设计，开发出了基于体硅SOI和圆片级封装工艺的低成本MEMS微陀螺和微加速度计芯片，攻克了数字化陀螺仪电路设计和加速度计ASIC电路设计技术和预成型空腔塑封封装技术，研制出了自主知识产权的ESP用MEMS陀螺仪和加速度计产品。
MEMS陀螺仪的制电路内部可内嵌进阶电源管理功能，可在不需要动态传感器功能的状态下直接将MEMS传感器整组关闭，或搭配系统的使用状态区隔深度睡眠、一般睡眠与正常运作状态，藉此达到MEMS陀螺仪最大幅度的节能效用，降低MEMS组件的驱动功耗。
深迪半导体(上海)有限公司(Senodia Technologies)正式发布其首款三轴微机电(MEMS)陀螺仪产品，ST200G。这是中国首款完全拥有自主知识产权的消费级商用三轴MEMS陀螺仪。
Analog Devices， Inc (ADI)，全球领先的高性能信号处理解决方案供应商，最近推出三款新型高性能、低功耗iMEMS®陀螺仪ADXRS642 、 ADXRS646 和 ADXRS649 ，三者均提供模拟输出，专门针对恶劣环境中的角速率（旋转）检测而设计。新款陀螺仪 ADXRS642 、 ADXRS646 和 ADXRS649 集成了 ADI 公司先进的差分四传感器技术，可有
ADI 公司 MEMS 和传感器技术部市场和应用经理 Wayne Meyer 表示：“ADXRS64x 系列 MEMS 陀螺仪具有低至0.015°/sec/g 的线性加速灵敏度，相比之下，其他领先的 MEMS 陀螺仪只提供0.1°/sec/g 的线性加速灵敏度。这几款新型 MEMS 陀螺仪还能提供仅3毫秒的快速启动时间，功耗只有 3.5mA，而其它 MEMS 陀螺仪功耗高达 60mA，与之相比降
为了在移动设备上实现室内定位，移动设备上部署了传统的加速计和陀螺仪等传感器，实现从已知初始位置出发的相对定位。2011年将有更多带有MEMS陀螺仪的移动设备投放市场
受制于成本和尺寸，一直以来MEMS陀螺仪只在军用设备、飞机导航以及汽车等非价格敏感设备上使用，近年来，随着制造工艺的成熟，核心ASIC设计的改良以及封装技术的突破，价格和尺寸不断下降，MEMS陀螺仪开始进驻消费电子市场，逐渐在玩具，数码相机(防震防抖)上使用，月出货量已达数百万片。而2010年苹果在iphone4上率先采用了MEMS陀螺仪，标志着MEMS陀螺仪正式进入了手机这一全球最大消费应用市场
陀螺仪常用于要求高精度或稳定性的惯性导航或其它应用。为获得最高性能，这些应用所用的陀螺仪一般需要经过校准和外部温度补偿。本文介绍一种执行校准和温度补偿的方法。
