图形发生器是一种用于产生各种复杂图形图案的设备，主要应用于电子束曝光、光刻技术、激光加工等领域。它能够精确地控制光束（如电子束、光束）的位置、强度和扫描路径，按照预先设定的图形数据在目标材料（如半导体晶圆、光刻胶等）上绘制出高精度的图形基本原理： 电子束图形发生器（用于电子束曝光）：通过电子枪发射出高速电子束。电子枪中的阴极在加热或电场作用下发射电子，这些电子经过加速、聚焦等光学系统后形成一束很细的电子束。在电子束的控制方面，利用偏转系统（如电磁偏转器）来改变电子束的扫描路径。图形数据存储在计算机系统中
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