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多晶硅制绒是损伤层的去除和制绒面同时进行的，控制的主要参数是制绒深度，为保证损伤层的去除干净，制绒深度必须要够，但不能过大，制绒深度不够导致损伤层去除不净，腐蚀坑过深过窄，制绒深度过大导致腐蚀坑过大，大的不规则腐蚀坑洞较多，绒面一致性差等。
