摘要：  多晶硅制绒是损伤层的去除和制绒面同时进行的，控制的主要参数是制绒深度，为保证损伤层的去除干净，制绒深度必须要够，但不能过大，制绒深度不够导致损伤层去除不净，腐蚀坑过深过窄，制绒深度过大导致腐蚀坑过大，大的不规则腐蚀坑洞较多，绒面一致性差等。

关键字：  多晶硅制绒，  绒面电池

多晶硅制绒是损伤层的去除和制绒面同时进行的，控制的主要参数是制绒深度，为保证损伤层的去除干净，制绒深度必须要够，但不能过大，制绒深度不够导致损伤层去除不净，腐蚀坑过深过窄，制绒深度过大导致腐蚀坑过大，大的不规则腐蚀坑洞较多，绒面一致性差等。

在绒面硅片上制成PN结太阳能电池，它有以下特点：

1.绒面电池比光面电池的反射损失小，如果再加减反射膜，其反射率可进一步降低。

入射光在光锥表面多次折射，改变了入射光在硅片中的前进方向，不仅延长了光程，增加了对红外光子的吸收，而且有较多的光子在靠近PN结附近产生光生载流子，从而增加了光生载流子的收集几率。

2.在同样尺寸的基片上，绒面电池的PN结面积比光面大很多，因而可以提高短路电流，转换效率也有相应提高。

3.绒面也带来了一些缺点：一是工艺要求提高了;二是由于它减反射的五选择性，不能产生电子空穴对的有害红外辐射也被有效地耦合入电池，是电池发热;三是易造成金属接触电极与硅片表面的点接触，使接触电阻损耗增加。

图1RENA清洗制绒设备

1.制绒深度

一般在4.2±0.2um(电子天平称重测得)

通过测量制绒前后硅片重量(g)，可以计算出制绒深度，根据具体测量情况可以改变工艺参数：

槽体温度

原则上温度控制在8℃，一般上下浮动1-2℃，调整范围为0.5-1℃，温度升高腐蚀深度增加。反之，温度可以作为腐蚀速率的调节手段，但是这是最后的手段。由于温度较高的情况下，溶液在制绒槽时会不稳定，所以一般不宜长时间超过10℃，当前补液能保证刻蚀速率不下降，那么无需调高刻蚀溶液的温度。

滚轮速度

原则上带速控制在1.0-1.5m/min，调整范围是0.1-0.2m/min，速度越快，制绒深度越小，反之。

自动补液

调整自动补液的周期以及自动补液量(HF、HNO3)，补液周期越短，补液量越大，制绒深度越大，反之。

手动补液

可以手动添加化学品(HF、HNO3、DIwater)，一般在制绒深度偏差较大时进行手动补液，一般在换液初期和槽体寿命快到时使用。

2.反射率

一般用反射率测试仪测得在20%左右

在工艺使用时用反射率测试仪确定工艺方案，在生产中要观察制绒后硅片的亮度，进行适当的调整。

图2硅片制绒效果

3.碎片

提高挡板的高度使得硅片能够顺利的通过滚轮能够碰到挡板的地方，可以选择将挡板切掉一部分。

调整喷淋管的位置，至滚轮能够光滑运行，调整风管和水管的位置，使得硅片在通过的时候，不好影响硅片的运行。

滚轴高低不平会影响硅片的运行方向，导致叠片卡片，致使碎片。

4.硅片吹不干

调整吹干气体流量(作者赛维工艺部)