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2024年11月,中国电子学会传感与微系统技术分会第二十八届电压敏学术年会在江西南昌盛大召开,此次盛会旨在通过深入的学术交流与探讨,推动电压敏行业技术水平的不断提升。
磁控溅射是近年来得到广泛应用的成膜方法,相比于目前电压敏行业中广泛采用的烧银电极,溅射膜电极具有膜层致密,厚度均匀,附着性强等优点。溅射膜电极不管从生产工艺上还是膜层质量上,都显现出传统的烧银电极不可比较的优越性,采用磁控溅射制备ZnO压敏电阻电极,将是今后陶瓷金属化的主流技术。