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#硅薄膜

硅薄膜是一种重要的半导体材料,在电子、光伏、显示等多个领域有着广泛的应用。分类: 按制备方法分类:可分为化学气相沉积(CVD)硅薄膜、物理气相沉积(PVD)硅薄膜等。CVD 硅薄膜是通过气态的硅源在高温、等离子体等条件下发生化学反应,在基底表面沉积形成的硅薄膜,如等离子体增强化学气相沉积(PECVD)硅薄膜等;PVD 硅薄膜则是利用物理过程,如蒸发、溅射等方法,将硅原子或硅离子沉积到基底上形成的薄膜,如磁控溅射硅薄膜等。 按掺杂类型分类:有本征硅薄膜、n 型硅薄膜和 p 型硅薄膜。本征硅薄膜是指纯净的、

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