质量流量控制器的英文名字叫“MASS FLOW CONTROLLER”(简称MFC),它通常由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器管道、机壳、调节阀等部件组成。
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本文采用C8051F410单片机为检测核心,充分利用该单片机丰富的内部硬件资源,设计了一款可以控制两路气体质量流量控制器的自动气体流量检测仪。