LED(Light-Emitting Diode)薄膜技术是一种制造 LED 器件的技术。LED 是一种固态光源,它通过半导体材料的电子跃迁发光。 LED 薄膜技术通常包括以下步骤: 制备 LED 衬底:衬底通常是蓝宝石、碳化硅、硅等半导体材料,需要对衬底进行清洗和预处理。 制备 LED 外延层:在外延生长设备中,通过高温、高压等条件,在衬底上生长出 LED 的外延层。外延层是 LED 的核心,决定了 LED 的性能和寿命。 制备 LED 薄膜:在外延层上制备 LED 薄膜,通常采用蒸镀、溅射等方法。
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