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#MEMS产品

MEMS(Micro - Electro - Mechanical Systems)即微机电系统,是一种将机械元件、传感器、执行器和电子电路集成在同一芯片上的微小器件。它的尺寸通常在微米到毫米级别,融合了微机械加工技术、微电子技术和材料科学等多学科技术。MEMS 产品的出现使得许多传统机械和电子设备能够实现小型化、智能化和高性能化。微传感器部分: MEMS 传感器能够感知各种物理量,如加速度、压力、温度、磁场等。以 MEMS 加速度传感器为例,它主要基于牛顿第二定律和电容变化原理。当加速度作用于传感器时

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