NAND 生产线是指用于生产 NAND 闪存芯片的生产设备和工艺流程。NAND 生产线通常由多个生产步骤组成,包括晶圆制造、封装和测试等。 晶圆制造是 NAND 生产线的第一步,它包括在硅晶圆上制造 NAND 闪存芯片的基本结构。晶圆制造过程包括晶圆清洗、涂覆光刻胶、光刻、蚀刻、扩散、离子注入等步骤。
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