摘要：  根据IMS的Reseach统计，2010年氮化镓金属有机化学气相沉积设备共计出货798台，其中，Vecoo与Aixtron仍是最主要的供应商，前者市占率由2009年的31%窜升至42%，而Aixtron则由原本62%萎缩至55%，合计市占高达97%。其余设备商如应用材料(应用材料)、周星(Jusung)与大阳日酸株式会社(大阳日酸)则仅占极小的出货比例。

关键字：  LED背光，  通用照明，  MOCVD，  Veeco

自去年开始，受LED背光及通用照明市场需求扩大等影响，LED制造商们积极扩充新产能，作为LED关键工艺设备的有机金属化学气相沉积(MOCVD)机台出货量也不断攀升。

根据IMS的Reseach统计，2010年氮化镓金属有机化学气相沉积设备共计出货798台，其中，Vecoo与Aixtron仍是最主要的供应商，前者市占率由2009年的31%窜升至42%，而Aixtron则由原本62%萎缩至55%，合计市占高达97%。其余设备商如应用材料(应用材料)、周星(Jusung)与大阳日酸株式会社(大阳日酸)则仅占极小的出货比例。

在2010年全球MOCVD新增安装量中，韩国增量最多，其次是台湾地区。结合MOCVD供应情况，中国LED芯片制造厂MOCVD机台的放量及装机高峰将落在2011年，而其它地区的增量会保持与2010年相当的水平或出现下降。AIXTRON公司预计，该公司2011年营收额将达4.5亿欧元(约40.43亿元人民币)，其中中国市场将占其总营收的4成，也就是1.8亿欧元(约16.17亿元人民币)。Veeco大中华区总裁王克扬也表示，中国是全球新增GaN MOCVD系统市场的主要力量。他估计，2011年来自中国的需求将占全球新增MOCVD设备市场的60%，超过1000台。

近年来，中国地方政府为吸引投资纷纷推出MOCVD补贴政策，在全中国掀起一波投资高 潮。2010年，三安光电分别向Vecoo和Aixtron订购90台和17台共计107台MOCVD设备，台湾LED磊晶厂璨圆光电所转投资的扬州璨扬光电，则预计至2011年底MOCVD产能达到50台规模。一时之间，几乎所有中国主要LED芯片制造商都开始大量购买MOCVD设备。

Veeco大中华区总裁王克扬

不过，并不是所有LED芯片制造商都持相同意见。来自厦门的乾照光电就指出，MOCVD数量多并不意味着实际生产力大，只有真正生产出市场能够接受产品，同时技术跟得上市场的发展，才能真正转换为实际的生产力。王克扬同意这样的观点，他介绍，Veeco正致力于MaxBright系列工具的引进和推广工作，这是市场上HB LED生产产量最高的MOCVD系统。单室或多室层结构增长产能，提高了LED结构的工艺灵活性。MaxBright紧凑的结构也比单机MOCVD系统效率提高了最多2.5倍。

“我们认为这(MaxBright系统)将加速普通照明的普及，越来越多的客户能够生产10美元以下的3瓦LED灯泡。”王克扬说，Veeco的MOCVD系统具有高效率和高产量，不需要不断清洁或人工干预。他们具有真正的最低运作成本和最低生产工具所有权成本，是市场上产量最高和成本最低的MOCVD。

由于通用照明市场前景广阔，随着相应成本、技术壁垒逐步得到解决，来自这一应用的需求也直接影响到LED芯片制造商的生产设备选择。“现在4"正越来越多地被我们的客户使用，因为更多的LED被制造用于普通照明。”王克扬表示，目前Vecoo所提供的所有MOCVD系统，包括K465i和MaxBright，都能提供业内领先的芯片产量，且2"，4"，6"，8"兼容，其中MaxBright能提供最高达216×2"， 56×4"， 24×6"或12×8"芯片。

王克扬介绍，目前Veeco在大中华地区共有超过40家客户，不仅包括LED电视背光和LED通用照明，还有超过38%的份额来自聚光光伏产品领域。他透露，由于Veeco在新加坡新增加了一条生产线，使得Veeco的季度生产能力超过120台MOCVD设备，目前能够保持低于6个月的交期。

MOCVD作为LED制造最核心环节的外延片生长关键设备，也是制造环节中单项投资最大的部分。但目前可以提供工业化生产的MOCVD设备制造商却高度集中在欧美和日本，包括占全球MOCVD设备需求比重约4分之1左右的韩国，都仍主要向Aixtron与Veeco采购MOCVD设备。

自2009年下半年，韩国政府为尽早摆脱近全数仰赖进口现况，推动LED设备自制化计划。韩厂周星工程(Jusung Engineering)于韩国MOCVD设备自制计划中，居主导企业地位，其设备已于2010年6月完成开发，而韩厂Top Engineering亦同样已于2010年6月完成MOCVD设备开发。

中国MOCVD设备国产化之路也一直在进行，中科院半导体所、昭信集团与华中科技大学合作、青岛杰生光电和西安电子科技大学合作，以及青岛华旗科技等国内设备科研和生产单位均在研发和生产小型MOCVD设备。2011年2月21日，国内创业板上市公司天龙光电发布公告，公司已与华晟光电签订合同，共同在常州合资成立独立法人的中外合资公司，主要从事MOCVD设备及外延工艺的研发、生产、销售、及售后服务。

对于本地MOCVD设备制造商的出现，Veeco大中华区总裁王克扬认为，这对中国市场来说是一件好事，他说，“这将会督促Veeco公司更加努力适应中国市场，不断创新产品并提高效率来支持客户”，有更好的产品出来，可以降低整个产业链的成本，更有利于整个LED芯片制造产业的发展。