上海贝岭-半导体 广告 7届电机产业链交流会 广告 2024中国华东智能家居技术创新峰会2 广告 2024第五届中国电子热点解决方案创新峰会2 广告

蓝宝石晶体的检测(二)

2013-01-05 16:28:29 来源:大比特半导体器件网

摘要:  蓝宝石晶体的检测

关键字:  蓝宝石晶体,  检测

2 蓝宝石晶体的结构缺陷

实际上,所有天然的和人工合成的晶体都不是理想的完整晶体。晶体在生长过程中,不可避免地受到不同程度的外界复杂因素的影响。因此,晶体不可能按理想的方式发育。在实际晶体的内部构造中,质点的排列并不严格地服从空间格子规律,而是存在各种缺陷,诸如空位、双晶、滑移、位错等。

晶体中的缺陷存在会严重影响晶体的性质,有些是决定性的,甚至有时可以把晶体本身看成是缺陷的基质。例如,半导体的导电性质几乎完全是由外来的杂质原子和缺陷所决定的。蓝宝石、氯化钾、氟化锂等晶体中掺杂形成的缺陷决定了它成为激光工作物质。多种金属离子掺人晶体决定其成为具有各种色彩的装饰宝石。当然,由于缺陷存在,也导致晶体结构的完整受到破坏,影响成为有用的晶体材料。

晶体结构上的缺陷一般分为点缺陷、线缺陷、面缺陷和体缺陷四种。

(1)点缺陷

理想晶体中的一些原子、离子被外来原子、离子所代替,或者在品格间隙中掺人原子、离子,或者留有原子、离子空位。所有这些都破坏了有规律的周期性排列,引起质点间势场的畸变,造成晶体结构的不完整。但这种不完整仅仅局限在原于或者离子位置,称为点缺陷。

点缺陷又可分为三类:晶体缺陷,如空位和间隙原子;组成缺陷,即杂质原子;电子缺陷。

①晶体缺陷 当晶体的温度高于热力学零度时,原子吸收热能而运动。运动形式是围一个平衡位置的振动(平衡位置与理想晶体的位置相当)。温度越高,平均热能越大,振动的幅度也越大。由于热起伏,当某些原子的能量足够大时,甚至可以脱离开它的平衡位置,在原来的位置上形成一个空位,造成缺陷,如图2-1所示.这种形式的缺陷称为热缺陷。它可以分成弗伦克尔缺陷和肖特基缺陷两种。

蓝宝石晶体的检测

在晶体中几种缺陷可以同时存在,但通常必有一种是主要的。一般来说,正负离子半径差不大时,肖特基缺陷是主要的。两种离子半径相差很大时,弗伦克尔是主要的。在蓝宝晶体Al3+和02-的半径相差较大,因此弗伦克尔缺陷为主要。

蓝宝石晶体的检测

②组成缺陷 杂质原子或叫掺杂原子,其量一般少于0.1%。它们进入晶体后,因与固有原子的性质不同,不仅破坏了原子有规则的排列,而且使杂质离子周围的周期势场引起改变,形成缺陷。杂质原子可分间隙型及置换型两种。前者是杂质原子跑到固有原子点阵间隙中,后者是杂质原子代替了固有原子,如图2-2所示。

[#page#]

③电子缺陷 这种缺陷主要存在于半导体材料。

点缺陷在实践中具有重要意义。在硅酸盐工艺中,有大量的烧成、烧结和固相反应过程。这些过程和原子在晶体内或表面上的运动有关。因此,热缺陷能加速这些过程。由于热陷的存在,使某些晶体变成有颜色。间隙离子能阻止格面相互的滑移,使晶体的强度增加,如蓝宝石晶体中加有少量的钛的目的就是在于此。

(2)线缺陷(位错)

实际晶体在结晶时,受到杂质、温度变化或振动产生的应力作用,或者由于晶体受到打击、切削、研磨等,械应力的作用,使晶体内部质点排列变形,原子行列相互滑移,而不再符合理想晶体的有秩序的排列,形成线状缺陷,称位错。图2-3表示晶面上局部发生滑移的情况。晶体受压缩作用后使A′B′EFGH滑移了一个原子间距,质点滑移面和未滑移面的交界是一条线EF, 称位错线。在这条线上的原子配位和其他原子不同,因此它是一种缺陷。它的特性是滑移方向和位错线EF垂直,一般称棱位错或刃位错,用⊥垂直符号代表,垂线指向额外平面。

蓝宝石晶体的检测

对于离子晶体位错比较复杂。另一种位错(图8—20)是由于剪应力的作用使晶面相互滑移,也可看成是局部滑移C的边界,其特点是位错线和滑移方向是相互平行的,如图中位错线AD和滑移方向是平行的。由于和位错线AD垂直的面不是水平的,而是像螺旋形,故而称螺旋位错,用符号带箭头中心一实心点表示。

蓝宝石晶体的检测

由于位错线附近的原子的排列是缺乏规则的,在位错的周围产生应力场和应变能。位错周围存在应变有利于杂质离子(或原子)聚集在位错线附近。位错可以在垂直滑移面方向运动,称为爬移运动。在实际晶体生长时,可利用它来消灭位错,位错吸附扩散来的空穴和间隙原子,一面交换位置,一面移到表面来。位错相互之间还会起作用。多个异向的位错的相互作用,由于作用力是吸引力,最后导致位错消灭,变成完整晶体。利用位错可以说明许多现象和晶体的许多性质如塑性变形.晶体生长快的原因之一,就是晶体中有螺旋位错的存在。

[#page#]

晶体位错的研究方法,通常用光学显微镜、X射线衍射、电子衍射和电子显微镜等技术进行直接观察或间接测定。例如,衡量单品质量好坏的位错密度(指单位体积内全部位错线的总长)通常用简便的方法来测定。设一个长度为L,截面为A的单晶,其中有N条位错线。如果每条位错线长和L相当,则位错密度等于n1/Al=n/A,这就是说,位错密度可以用单位截面上的错露头的数目表示。因此,用光学显微镜观察晶体位错的腐蚀坑数目,再除以视场面积后,就可以求出位错密度。

焰熔法生长的蓝宝石晶体的位错密度大,一般在107~108cm-2,引上法生长在l04~105 cm-2。用气相、区熔、熔剂、水热等方法生长时,位错密度≤l03 cm-2。温梯法生长时位错密度在102~104cm-2。

蓝宝石晶体的位错观察,可先将样品进行机械抛光。然后在420℃下用磷酸进行化学抛光,消除机械加工痕迹。最后在320℃磷酸或KOH溶液中腐蚀5min左右。腐蚀坑形状如图2-5(a)、(b)所示。图中腐蚀坑就是错位露头,蚀坑数除以视场面积,就得位错密度。

蓝宝石晶体的检测

(3)面缺陷(镶嵌)

实际晶体往往不是理想的单晶体,而是由许多结合得并不十分严密的微小品粒构成的聚集体。这些晶粒边长约1nm,粒和粒之间不是公共面,而公共棱,互相间仅是以数秒到0.5°的微小角度倾斜着。可以认为,各晶粒互相取向基本上是平行的,如此的晶体构造称“镶嵌构造”。形成原因是单晶在生长过程中受应力或表面张力作用。很明显,这样的构造也是一种缺陷。它和线缺陷不同,可以看成由许多同向位错线构成一个单面,称“镶嵌界面缺陷”或称“小角度晶界”。这种缺陷导致镶嵌块之间有微小角度之差。

还有一种面缺陷是结晶过程开始时形成许多晶核,当进一步长大时,形成相互交错接触,成为多晶体。其中各小晶体的晶面取向互不相同。这种界面缺陷称“大角度晶界”。界面处晶面的交角不像镶嵌缺陷那样小,D值减小,好似位错靠得很近,以致达到原子数量级。由此认为界面处原子(或离子)排列是带有无定形的。

在生长单晶时,经常由于温度梯度的存在以及温度控制不当,造成了热应力,而热应力的大小直接影响位错密度的大小。位错密度可由下式表示蓝宝石晶体的检测

此式表明,温度梯度愈大,位错密度愈大。α是膨胀系数,b是柏格矢量的称量,即品格晶距。镶嵌界面缺陷由一系列同向位错构成。当单晶受力弯曲时,造成塑性变形,晶体内各层也产生一系列同向位错。极小的弯曲会造成大量位错的产生。弯曲造成的位错密度由下式决定蓝宝石晶体的检测

式中,R为晶体弯曲的曲率半径。

本文为哔哥哔特资讯原创文章,未经允许和授权,不得转载,否则将严格追究法律责任;
Big-Bit 商务网

请使用微信扫码登陆

x
凌鸥学园天地 广告