功率场效管应用及工艺流程
MOSFET是一个多么神秘的单词,但精确而言,它仅是几个单词缩写.代表什么呢?它代表着半导体一种工艺,它是”软开关”代表.在我们身边空调,笔记本,iPAD,手机,数码相机,充电器等,都大量应用MOSFET.为节能,作为电子工程师,我们必须要接触电源管理芯片,尤其是功率MOSFET等焦点半导体器体.因此,了解MOSFET的结构,工作原理,电路符号及工艺流程是必需的基本功课.在这里,您会找到想要的检索字眼,在详细的关键参数介绍中,您会重燃对半导体应用的喜爱与热情投入.
引言
MOSFET是一种可以广泛使用在模拟电路与数字电路的场效晶体管.以实际应用规格分类,如下:第一类 高压平面MOS,主要有LCD/LET TV PFC,Ballast&HID,Lighiting,应用规格500V/8A,500V/3A,650V/4A;封装T0-220F,TO-252,T-220.第二类,中压沟道MOS,主要有同步MOSFET,Power Inverter,UPS等应用规格200V/50A,75V/85A,55V/110A;封装TO-220,
TO-247,TO-263;第三类, 低度沟道MOS,主要有智能手机锂电池保护,主板VRM,NB电池保护.应用规格20V/6A,30V/40A,30V110A.封装SOT23-6,TSSOP8,DFN3X3,DFN5X6.从应用的角度,解析不同规格MOS的参数,制程工艺,从而更贴切于产品的设计,增长可靠度,满足客户的需求.
1.结构
图1是典型平面N与P沟道增强型MOSFET的电路符号,标示三个电极:Gate栅极,Source源极及Drain漏极
图1
为提高开关特性等有不同的结构及工艺构成所谓U-Trench,Planar,SuperJunction等结构
2.工作原理
图2为一个简单增强型N沟道MOSFET工作模型,要在G,S之间加正电压VGS及在D,S之间加正电压VDS,则产生正向工作电流ID.改变VGS的电压可控制工作电流ID.
图2
3.MOSFET关键参数解释
3.1 Maximum Drain-Source Voltage,VDS 最大漏源极电压
3.2 Continuous Drain Current, ID 持续漏极电流
3.3 Drain-Source On-State Resistance, RDS(on) 漏源极导通时的阻抗
3.4 Maximum Gate-Source Voltage, VGS 最大栅源极电压
3.5 Gate Threshold Voltage, VT ,(VTH , VGS(th))栅极阀值电压
3.6 MOSFET Power Losses 场效管功率损耗
3.6.1 PS: Switching Transition Losses 暂态关断损耗
3.6.2 PG: Gate Drive Losses 栅极驱动损耗
3.6.3 PC: Conduction Losses 导通损耗
3.6.4 PL: Drain to Source Leakage Current Losses 漏源极漏电流损耗
3.6.5 PD: Internal Diode Losses 内部二极体损耗
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4.MOSFET工艺制程
4.1 MOSFET组装工艺
图3为贴片MOSFET 组装工艺,从第一道工艺晶圆裁剪;第二道工艺支架制作;第三道工艺封胶铆合;第四道工艺对半成品电镀加丝印.一个MOSFET的成品即完成工艺上的描述.
图3
4.2 MOSFET 制作工艺流程(以AD3S29九大步骤为例)
步骤1: Wafer Mount 晶圆装配
步骤2: Wafer Saw 晶圆切割
步骤3: Wafer Clean 晶圆清洁
步骤4: Die Attach 晶片贴附
步骤5: Lead
步骤6: Wire Bonding 金线植件
步骤7: Molding塑封
步骤8: Plating 电镀
步骤9: Trim/ Form, FT Laser mark
Tape/Reel, Packing
剪脚成形/镭射丝印/卷带包装
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5.MOSFET Datasheet 之解读
表-1
6.关键参数演算
6.1 POWER DISSIPATION功率耗散计算
EAS AVALANCHE ENERGY 计算公式如下:
EAS = 1/2*L*I*I[V(BR)DSS/(V(BR)DSS-VDD)]
= 1/2 *13.9 mH *10 A *10A * [600/(600-50)]
=758 mJ
EAS=雪崩能量
L=电感值; L为13.9mH
I=电感峰值電流; I为10A
BVDSS=雪崩击穿电压; VSS为600V
VDD=电源电压. VDD为50V
6.2 RDS(ON) Conduction Loss Effection 计算
RDSON 組成 : RSOURCE+RCHANNEL+RACCUMULATION+RJFET+REPI+RSUBSTRATE
该特性与温度成正比.
图6
6.3 MOSFET Switching Characteristics
图9
Total Gate Charge Qg (t0 - t4)
Gate-Source Charge Qgs (t0 –t2)
Gate-Drain (“Miller”) Charge Qgd (t2 - t3)
6.4 Switching Time 开关时间
上升时间tr:从VDS 90%降低到10%的 值之时间
下降时间tf:从VDS從 10%的值上升到90%的值之时间
开启延迟时间td(on):VDS 降低到90%的值之时间
关闭延迟时间td(off):VDS值上升到10 %的时间
图10
6.4 Trr / Qrr逆恢复时间/逆电荷量
逆恢复時Trr:二极体順向电流流通后,施加电压逆转,二极体可视为一种电容,
放出累积的电荷量 Qrr 到终止的时间为 Trr, Trr 期间中的二极体为等效短路状态,因而产生大的功率损耗
图11
7.结束语
在此衷心感谢Fairchild公司Dongkook Son, Matthew Hong及LiteonSemi公司Tim Wu 在技术上的全力支持与专业知识辅导.
本文由大比特资讯收集整理(www.big-bit.com)
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