光栅传感器是一种特殊的传感器,它利用光栅莫尔条纹原理来测量位移。光栅实际上是由大量等宽等间距的平行狭缝组成的光学器件,这些狭缝被称为光栅线。光栅传感器由标尺光栅、指示光栅、光路系统和测量系统四部分组成。当标尺光栅相对于指示光栅移动时,会形成大致呈正弦曲线分布的明暗莫尔条纹。 光栅形成的莫尔条纹具有光学放大和平均误差效应,这可以提高测量精度。光栅传感器的精度非常高,仅次于激光干涉传感器,而且在大量程测量长度或直线位移方面表现出色。此外,光栅传感器还适用于圆分度和角位移的连续测量,并具有高分辨力和大量程的
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