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KLA-Tencor 公司今天宣布，为芯片制造商推出一款新的电子束检测系统—— eS805TM。此系统得益于 KLA-Tencor 二十余年的电子束检测开发与生产专业经验，对于非常细小的瑕疵以及造成集成电路问题的缺陷(例如断路、短路或可靠性问题)，具有超强的检测能力。这些能力让 eS805 成为晶圆厂整体晶圆缺陷控制程序中与光学晶圆检测系统的有益补充与辅助手段。
