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光纤组件和子系统开发商Oclaro近日推出了一款可在105微米光纤上提供80W功率的高功率光纤耦合激光二极管泵BMU80。据称通过这一高亮度泵,光纤激光器制造商可以利用更少的组件产生更高的泵功率水平,从而提高泵座效率,设计出更为紧凑的泵装置等。
$半导体$制造业发展迅速,“绿色”技术无疑具有光明的未来,这就要求有新的激光加工工艺与技术来获得更高的生产品质、成品率和产量。除了激光系统的不断发展,新的加工技术和应用、光束传输与光学系统的改进、激光光束与材料之间相互作用的新研究,都是保持绿色技术革新继续前进所必须的。下文围绕紫外DPSS激光器、准分子激光器、光纤激光器在半导体行业中的加工应用,展开论述。