薄膜硅是一种非晶硅或微晶硅材料，其硅原子通过化学气相沉积（CVD）等技术在衬底材料上形成薄膜状结构。这种薄膜的厚度通常在几纳米到几微米之间，与传统的硅晶圆相比，薄膜硅具有独特的物理和电学性质。 分类： 非晶硅（a - Si）：非晶硅是一种短程有序而长程无序的硅材料。它的原子排列不像单晶硅那样规则，是通过硅烷（SiH₄）等气体在高温或等离子体作用下分解并沉积在衬底上形成的。非晶硅具有较高的光吸收系数，在光伏领域可用于制造薄膜太阳能电池，能够在较薄的厚度下有效吸收太阳光。例如，非晶硅太阳能电池的吸收层厚度通
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