AMOLED（Active Matrix/Organic Light-Emitting Diode）是有源矩阵有机发光二极体的缩写，其生产设备主要包括以下几个方面： 曝光机：用于在涂有光刻胶的ITO玻璃上进行曝光，通过紫外光经过MASK对光刻胶进行照射，曝光后的玻璃经显影产生与MASK板相同的图案。 蒸镀设备：用于将有机材料蒸镀到ITO玻璃上，形成AMOLED的发光层。目前全球主要的AMOLED量产线蒸镀设备企业包括Canon Tokki、SUNIC、SFA和ULVAC。 此外，AMOLED生产设备还包
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