MEMS 工艺即微机电系统工艺，是一种将微机械结构与微电子技术相结合的制造工艺，用于制造微小尺寸的机械和电子元件及系统，具有高精度、小尺寸、低功耗、高集成度等优点，广泛应用于航空航天、汽车、医疗、消费电子等众多领域。
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