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KLA-Tencor 推出用于测量等离子室效应的 pLASMAVOLT X2 KLA-Tencor 公司今天推出了 PlasmaVolt™ X2，可用于在半导体晶圆处理系统中测量等离子室的状况。由于增加了内嵌式传感器数量，且空间分辨率得到改善，PlasmaVolt X2 对各种参数的变化极为敏感，例如无线电频率 (RF) 功率、气流、磁场及等离子室设计。这种等离子行为测量和特征化系统能
