使用聚对二甲苯扩展MEMS压力传感器应用
2021-04-06 11:41:16
来源：半导体器件应用网
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微机电系统（MEMS）压力传感器的描述通常包含了“可以与非腐蚀性、非离子性工作流体（例如空气或干燥气体）一起使用”这样的陈述。遵循该准则，用户可以期望MEMS压力传感器具有较长的使用寿命。但是，如果该应用不符合该指南要求怎么办？本文将解释为什么MEMS压力传感器需要保护，并讨论包括聚对二甲苯在内的潜在解决方案。
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