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使用聚对二甲苯扩展MEMS压力传感器应用
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使用聚对二甲苯扩展MEMS压力传感器应用

2021-04-06 11:41:16 来源:半导体器件应用网

微机电系统(MEMS)压力传感器的描述通常包含了“可以与非腐蚀性、非离子性工作流体(例如空气或干燥气体)一起使用”这样的陈述。遵循该准则,用户可以期望MEMS压力传感器具有较长的使用寿命。但是,如果该应用不符合该指南要求怎么办?本文将解释为什么MEMS压力传感器需要保护,并讨论包括聚对二甲苯在内的潜在解决方案。

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