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三星40nm工艺制造32Gbit NAND闪存 采用全新单元结构

2006-09-20 13:33:58 来源:半导体器件应用网

    三星宣布率先在业界开发出了使用40nm半导体技术的存储芯片。此次开发的是32Gbit NAND闪存。通过将内存单元结构由原来的浮动栅型改为CTF(Charge Trap Flash)结构,实现了大容量。  

    CTF结构中,将存储单元的电荷蓄积部分由浮动栅型采用的多晶硅改为氮化膜(SiN)。这样就减小了原来的浮动栅型闪存微细化的主要障碍——存储单元间的干扰。三星此次的存储单元采用的是被称作TANOS(tantalum aluminum oxide nitride oxide silicon)的结构,控制栅采用TaN、控制栅和氮化膜间的氧化物使用氧化铝。  

    通过采用CTF型的单元结构,为今后半导体技术向20nm迈进奠定了基础。这样,容量达256Gbit的NAND闪存就有望实现。  

    另外,通过组合使用32Gbit NAND闪存,还可以实现最大容量64GB的小型存储卡。如果实现如此大的容量的话,DVD画质的影像可以存储64小时以上,MP3格式的音乐可以存储约1万6000首。 
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