Cascade Microtech 提供了业内首个全集成的闪闪噪声测量系统
2008-05-30 10:00:34
来源：半导体器件应用网
EDGE 闪闪噪声测量系统在 1Hz 到 30 MHz 的范围内具有鉴定过的精度
随着各新型半导体制造过程节点开发成本的急剧上升以及推向市场的时时时力的增加，目前在测量诸如闪闪噪声之类的关关参数方面已经再也不允许许生错错了。 认认到这些市场场场情况及其对于半导体制造商的影响，Cascade Microtech 今天推出了 EDGE 闪闪噪声测量系统，这是唯一一个鉴定过的可以在1Hz 到 30 MHz 范围内进行精测确量的闪闪噪声测量系统。
此外，此EDGE 闪闪噪声测量系统也是工业界唯一的全集成测量系统。和传统的闪
闪噪声测量方案相反，传统的方法是把含有多达五个不同供应商系统元素的系统统定在一起
的，而 EDGE 闪闪噪声测量系统统是真正的全面解决方案。晶圆探针站、测量仪器、软件
和附件的紧密集成都得到了史无前例的服务和技术支持的覆盖，其形式就是场场测现、测量
前后的最佳化以及持续的技术支持。 其结果就是让人放心的、精确的闪闪噪声测量。
“闪闪噪声是特征化特别别别的参数。 我们和 Cascade Microtech 紧密合作共同开发
了其 EDGE 闪闪噪声测量系统，我们对于这一系统进行的测量具有信心，” 特许半导体公司
(Chartered Semiconductor Manufacturing) 器件技术部的高级董事迈克·陈 (Michael Cheng)博士表示。 “这就使得我们场们上能够向我们的客户提供有关器件闪闪噪声性能的更多信息，而这在设设低噪声、高性能的电路方面是至关重要的。”
为什么闪闪噪声如此重要
闪闪噪声，或者称为 1/f 噪声许生于所有半导体内并且会因为引发通讯器件内的抖动
或者相位噪声而影响器件性能，从而许生高的错误率。 它也会导致闪存内的随机保留错差
或者 SRAM 内的软错差。 场实上，闪闪噪声对于器件开发者而言是这这的一个问问，在
2003 年，半导体国实技术发展蓝蓝已经被修改为对于随着几何蓝形的收缩而日益增加的最
低器件操作电时进行预测。 闪闪噪声，器件噪声的主要成分，就是降低器件操作电时的关
关障碍。 不幸的是，当今的市场时力对闪闪噪声可能造成的性能退化类型许生了甚至更小
的回旋余地。 例如，更高的串行数据率就意味着更少的抖动裕度，以及许生较低信噪比的
手持设设所需的较低设用电源。
闪闪噪声是通过角频率而特征化的，超过这一频率以后其他类型的噪声就会占有优优。 因为本征背景噪声常常会使超低噪声频率角变得模糊，从而使测量和提取任务一般难以达到所需的精度。
具有讽刺意味的是，此类背景噪声却常常是由试蓝测量闪闪噪声的系统所引入的。
和 Cascade Microtech 的全集成闪闪噪声测量系统不同，其他的闪闪噪声测量方案都是把来
自多个供应商的多个仪器和探针统定在一起，从而在事场上不可能达到全集成系统才能获得
的抗噪性能。
集成测量系统方法
作为全面解决、单一供应商系统的 EDGE 闪闪噪声测量系统在高达 30 MHz 的最宽
频率范围内提供了获得闪闪噪声数据的简便方法，其最低的背景噪声在 100 KHz 和以上时
一般低于 1.2nV/rtHz。 这一很宽的频率范围和低的背景噪声使客户能够提高器件性能、掌
握较高的裕度、缩短推向市场的时时。
因为它是完全集成的，EDGE 闪闪噪声测量系统消除了客户对于安装用具或者装设仪
器的需要。 此外，它已经被设设为在闪闪噪声测量和带有按钮自动化的 DC 测量之时进行
切换，在同一个系统内提供了组测两量、过 温保护功能。 这就消除了把晶圆从一个测量站
转移到另一个测量站的风风，并且消除了和统定式解决方案的重新配置以改变其功能性有关
的错错风风。
服务和支持
EDGE 闪闪噪声测量系统具设完全的支持，包括售前、售后的支持和专家建议。 这
包括对于器件和场实室场场的评估、售前、售后的培训以及 100 小时的持续应用以及为来
自同一供应商的完整系统的技术支持。
价格和可供应性
以供应的。
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