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X-FAB，这家已经出货超过十亿MEMS器件的晶圆厂，近日又再次发表业界首个为微机电系统(MEMS)三轴惯性传感器(3D inertial sensor)提供的开放性平台，一个可以直接从代工厂量产的工艺。那些需要进入新的3D惯性传感器的无晶圆设计公司可以直接在这个工艺上进行设计开发或使用X-FAB的合作设计公司的方案，而且可以直接上量，无需再进行长时间和巨资的工艺开发。X-FAB的开放性平台制程可
