光刻胶是一种有机化合物,它是微电子制造过程中的关键材料。光刻胶在光刻工艺中使用,通过光照的方式将掩模(Mask)上的图案转移到涂有光刻胶的衬底(如硅片)上,从而实现集成电路等微观结构的图形化制作。 基本原理:光刻胶的工作基于光化学反应。当光刻胶受到特定波长和能量的光照射时,其内部的化学结构会发生变化。根据光刻胶的类型,可分为正性光刻胶和负性光刻胶。
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韩国的内存与半导体产业拥有全球领先的技术实力,因此光刻胶企业也非常重视韩国市场。供应韩国企业光刻胶的厂商有2家韩国厂商,包括东进化学、锦湖石油化工,另外有5家日本厂商,包括住友化学、TOK、信越、JSR、FFEM,以及收购罗门哈斯(Rohm and Haas)的陶氏化学等。
高精度质量计量技术用于监控淀积工艺和其它引起质量细微变化的工艺步骤,也可以用来监控由于高参杂注入导致光刻胶剥落而引起的硅损耗、衬底损坏等问题。
诺发公司(NOVELLUS)巩固其在光刻胶去除领域的市场领先地位