半导体设备材料主要包括半导体材料以及用于制造半导体的各种材料。半导体材料是一种介于导体和绝缘体之间的物质，其电导率比绝缘体高，但比导体低。在半导体中，带电的电子和空穴处于热平衡状态，并在半导体中不断移动，从而实现电子学、光电子学和太阳能等多种应用。 半导体设备材料大致可以分为以下几类： 硅基材料：硅是最常用的半导体材料，广泛应用于电子器件，如晶体管、集成电路等。 化合物半导体材料：包括类III-V化合物半导体材料，如氮化镓、磷化镓、砷化铟等，具有优异的电学和光电性能，可用于制作高速、高功率和高频率的
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