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近日，集微网专访了惠然微电子董事长王志刚博士，围绕电子束量测设备的产业痛点、国产化突破路径、AI技术落地、产品矩阵布局与产业协同等话题展开深入探讨。
在用于光检测的固态检波器中，光电二极管仍然是基本选择。光电二极管广泛用于光通信和医疗诊断。其他应用包括色彩测量、信息处理、条形码、相机曝光控制、电子束边缘检测、传真、激光准直、飞机着陆辅助和导弹制导。
KLA-Tencor 公司今天宣布，为芯片制造商推出一款新的电子束检测系统—— eS805TM。此系统得益于 KLA-Tencor 二十余年的电子束检测开发与生产专业经验，对于非常细小的瑕疵以及造成集成电路问题的缺陷(例如断路、短路或可靠性问题)，具有超强的检测能力。这些能力让 eS805 成为晶圆厂整体晶圆缺陷控制程序中与光学晶圆检测系统的有益补充与辅助手段。
全球测试设备厂爱德万测试 (Advantest) 宣佈推出专为晶圆所开发的全新多视角量测扫描式电子显微镜 (MVM-SEM) 系统E3310，这套系统可在各种晶圆上量测精细接脚间距图样，以Advantest的专利电子束扫描技术，实现高精确性。
在半导体制造工艺中尽一切可能延伸光学的缩微方法寿命是十分重要，尽管无论EUV或者EB电子束，由于波长短十分诱人，但是要达到工业化量产水平，尚需时间。所谓”远水解决不了近渴”。因此目前193nm浸入式，加上两次(甚至4次)图形曝光技术及DFM技术等来实现缩微是现实的解决方案。据目前的实践，上述方法己经能实现22-20nm水平，但是能不能突破14nm，尚难预料，因此14nm可能是个拐点。
KLA-Tencor 推出第十代电子束侦测系统，实现 4Xnm 和 3Xnm 生产
