纳米芯片是一种采用纳米技术制造的芯片。在制造过程中，首先生长交替的Si和SiGe外延层的超晶格来形成纳米片的基础。其关键步骤包括沉积内部电介质间隔物以保护源极/漏极区域并定义栅极宽度，以及用于去除牺牲层的沟道释放蚀刻。此外，纳米片之间需要用栅极电介质和金属填充，其中栅极金属可能会引入新材料，如钴、钌、钼、镍和各种合金。 纳米芯片的结构可能具有三层、五层或更多层的每种材料，微小的垂直fin在超晶格结构中被图案化和蚀刻。在间隔蚀刻中，超晶格结构中的SiGe层的外部部分被凹陷，然后用介电材料填充。之后形成源
有关“纳米芯片”的最新话题，搜索293 次
哔哥哔特商务网是电子制造业产业链信息交流的平台，分享和剖析电子制造业上下游新技术、新产品资讯；通过“走进企业”、“对话”、“拆解”、“市场解读”、“产业分析”“研讨会专栏”等栏目进行行业深度解读，及时提供线下专业研讨会、峰会论坛、线上会议、直播等行业活动资讯。
