MEMS是微电路和微机械按功能要求在芯片上的一种集成，基于光刻、腐蚀等传统半导体技术，融入超精密机械加工，并结合力学、化学、光学等学科知识和技术基础，使得一个毫米或微米级的MEMS具备精确而完整的机械、化学、光学等特性结构。 MEMS设备是日常生活的一部分，存在于从智能手机到汽车到战斗机的各种系统中，基于物联网，传感器正加速向千行百业渗透、融合，消费电子、智能家居、汽车等新市场的到来都将为MEMS传感器产业带来广阔的市场空间。
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